多功能X射线光电子能谱仪
现 价：
¥
3000000.00
- 选择型号
- 表面成分分析、多层薄膜结构深度剖析、化学态成像等
- 可兼备XPS、UPS、ARPES、AES等多种谱学测量
- 采集硬件全自动控制、自动化采集及分析
- 大光斑高通量设计
-
主分析腔体采用SUS316L不锈钢腔体，并安装一层μ金属材质的内衬
-
样品点残余磁场典型值≤20mGauss；最优值≤5mGauss
-
极限真空≤5 ×10^-9 mbar（配置离子泵、分子泵等）
-
半球能量分析器R150型
-
电子平均半径150 mm
-
能量范围1 eV ~ 1500 eV
-
通过能 Ep1 ~ 500 eV，多个可选
-
能量分辨率≤50 meV FWHM @ Ep = 2 eV，Ek = 9.1 eV
-
角度分辨率≤ 0.1°@ 0.1 mm光斑
-
透镜工作模式传输模式、（角分辨模式可选）
-
采集模式固定模式、扫描模式
-
样品台全自动五轴样品台
-
样品扫描范围直径60 mm区域
-
移动范围X：±25 mm, Y：±25mm , Z：0~15 mm; 常中心旋转：0~360°
-
倾角范围0°~ 90° 用于角分辨分析，角度分辨≤±1°
-
总光电子通量≥1×10^14 phs/s
-
光斑尺寸典型值100μm（最优值10μm）
-
单色器石英晶体
-
X射线源μXR275型
-
光子能量Al靶 @ 电压15KV
-
适用气体适用气体 He，Ne，Ar，Kr，Xe等
-
激励源固态射频源
-
紫外光源VUV430-AF型
-
光通量≥1×10^10 phs/s
-
配件氩离子枪、中和枪等
-
烘烤系统热风循环方式烘烤；最高可达200℃
-
控制系统真空实时显示、控制以及系统保护
